ASML將于本季度末開始量產(chǎn)Twinscan NXT:2000i，價(jià)格未披露。目前，NXE:3400B EUV光刻機(jī)的報(bào)價(jià)是1.2億美元一臺(tái)，傳統(tǒng)的ArF沉浸式光刻機(jī)（14nm節(jié)點(diǎn)）報(bào)價(jià)是7200萬美元之間， NXT:2000i肯定是在這兩者之間了。
光刻機(jī)霸主ASML（阿斯麥）已經(jīng)開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV（NXT:2000i雙工件臺(tái)深紫外光刻機(jī)），可用于7nm和5nm節(jié)點(diǎn)。NXT:2000i將是NXE:3400B EUV光刻機(jī)的有效補(bǔ)充，畢竟臺(tái)積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。

同時(shí)，NXT:2000i也成為了ASML旗下套刻精度（overlay）最高的產(chǎn)品，達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm（5nm要求執(zhí)照2.4nm，7nm要求至少3.5nm）。

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